Zygo新發表 QualifireTM
廠商名稱：台灣阿美特克股份有限公司
發佈日期：2024-03-15
攤位號碼：N208
50 多年來，移相干涉儀一直是高精度表面形狀計量儀器的首選技術。 這些干涉儀可快速可靠地測量光學元件、系統和元件的表面形狀誤差和透射波前。 從研究環境到廣泛的工業應用，雷射干涉儀都能為品質保證和生產後分析提供高水準的資料可追溯性。 它們已成為製造過程中不可或缺的一部分。
Zygo的 Qualifire 為此類儀器面臨的已知挑戰提供了解決方案，代表了雷射干涉儀的一次飛躍。
菲佐設計是許多現代系統中常見的光學計量方法，它使用一個固定的同軸相干點光源來照亮干涉腔。 在大多數情況下，這種設計都非常有效。 雖然移相和固定照明仍是黃金標準，但 Zygo 一直在尋求改進，並通過新的飛點選項探索了動態照明的優勢。
Qualifire 可提供 4 英寸孔徑或同類產品中最小的 6 英寸孔徑。某些 Qualifire 版本的重量不到 50 磅（23 公斤），這使得該儀器更易於移動，尤其是在測試部件無法被帶到儀器前的情況下。
重量和間距方面的另一個優勢是內置相位測量插座 (PMR)。 這消除了移動設備時對 PMR 內部 PZT 堆疊造成損壞的可能性。其他改進還包括易於抓握的手柄和方便使用的開關。
此外，光學支腳是密封的，提供了額外的防塵保護，因為灰塵會隨著時間的推移而積聚，並增加系統中的瑕疵。 這種佈局也使維修變得更加容易。 即使更換雷射頭，也不會干擾任何光學元件。
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