非破壞性SiC缺陷檢測系統

 

產品型號：JadeSiC-NK / SP3055A

產品分類：化合物半導體材料/設備

廠商名稱：蔚華科技股份有限公司

攤位號碼：N214

 

產品特色

 

JadeSiC-NK 為蔚華科技與南方科技針對SiC基板檢測的高成本問題共同研發的創新解決方案，採用「非破壞性的先進非線性光學(NLO)技術」掃描SiC基板表面及內部的晶體缺陷，不僅可有效掌握基板品質，更能夠大幅節省因KOH產生的時間與基板成本！

【功能特色】
● 先進非線性光學(NLO)檢測技術能夠檢測SiC基板表面上及內部的晶體缺陷
● 非破壞性檢測技術有效替代昂貴的KOH蝕刻檢測方式
● 提供基板全片掃描晶體缺陷密度和分布報告，取代現有KOH蝕刻後抽樣取點的推估方法
● 專注於檢測SiC基板中最致命的晶體內部的缺陷(BPD、TED、TSD、MicroPipe、Stacking Fault)
● 適用 2”,4”,6”,8” SiC基板
● 具備微區3D掃描功能（選配）

 

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