Plasma-Therm 蝕刻/沉積/離子蝕刻/熱處理

桌上型AFM(原子力顯微鏡)---研發、品管、表面形貌、粗糙度檢測專用

白光干涉儀+共軛焦顯微鏡(入門款)---粗糙度,表面輪廓,形貌,膜厚高速檢測首選(世界大廠Sensofar)

CSI AFM/全球最佳電性量測AFM (高解析PFM/KFM/EAFM/CAFM/SThM ) KPFM表面電位量測

Wafer專用原子力顯微鏡AFM(6-12吋適用)---晶圓粗糙度量測最佳利器

故障分析

注射幫浦

全方位, 高性能AFM---Park Systems AFM (粗糙度, 膜厚,表面電位, 晶圓缺陷檢測）

WBG材料三維應力分析檢測系統

微觀晶圓檢測系統

Diener Parylene Coating真空鍍膜塗層

微流道流量計

MUX WIRE VALVE微流道多通道控制切換閥

微小體積壓力感應器

可靠度設計驗證

SiC晶圓減薄砂輪

TIpsNano AFM探針/ 極細2nm探針/HOPG/SNOM/TERS專用

蠕動幫浦LabF系列

E-SMART FLAT扁平無塵移動電纜

訊號測試

非破壞性SiC缺陷檢測系統

簡易、輕巧AFM(原子力顯微鏡)---奈米量測入門工具(表面形貌、粗糙度檢測)

材料分析