真空物理濺鍍設備
產品分類：半導體封裝與組裝設備
廠商名稱：勤友光電股份有限公司
攤位號碼：L321
產品特色
適用多種尺寸: 12吋晶圓及300mm見方到620mm見方的基板
成膜鈦銅種子層, 鋁鈦鎳金散熱層, 防止電磁干擾鍍膜層
可選擇水平式或直立式鍍鏌
旋轉靶機設計可提高材料利用率
可整合烤箱及ICP-RIE電漿處理單元
可對應翹曲基板
高產速
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