OPTEC- LLO全自動雷射離型機

 

產品型號：Light Bench LB2-250-LLO

產品分類：半導體封裝與組裝設備

廠商名稱：上儀股份有限公司

攤位號碼：L327

 

產品特色

 

雷射剝離 (LLO) 是指通過使用均勻的紫外波長雷射光束將薄層與基板分離的過程，例如從玻璃中分離聚合物。 成功的 LLO 的主要要求是對基板工作波長茲不吸收，目標層吸收。 在樣品處理過程中，光束指向目標層，穿過透明基板（例如藍寶石、玻璃），並在界面處產生等離子體，使兩種材料彼此清潔“脫粘”。 透明基板用作載體，允許對相對脆弱的目標層進行簡單安全的操作，以製造薄而復雜的結構，例如用於 OLED 顯示器的結構。

必須仔細考慮避免樣品過熱和降低產品質量。 加上成功產生等離子體所需的相對較低的能量閾值，使得準分子雷射成為該技術的完美候選者。 事實上，準分子雷射的大型均質平頂光束、短脈沖和低重複率保證了表面的均勻處理，同時避免了顯著的溫度梯度。 Optec 提供標準產品，包括 Light Bench LB2-250-LLO，波長為 308nm 或 248nm，以及全自動準分子雷射剝離機，如 LDB-250-LLO，帶有機器人裝載和卸載晶圓。

 KEY FEATURES
 Motorized X,Y,Z axes
 308nm laser wavelength
 Up to 45mm beam line length
 >600mJ/cm² on the Off axis vision part
 User friendly softwares
 CAD compatible
 All granite structure
 Class 1 machine

 OPTIONS
 248nm laser wavelength
 Switchable beam line length
 75mm beam line length
 Fully Automated part loading/unloading
 Motorized Theta stages
 Beam profiler on target position
 Energy meter on target position

 

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