FSM 薄膜應力量測設備
產品分類:PLP面板級封裝設備/材料
廠商名稱:勤友企業股份有限公司
攤位號碼:N318
產品特色
FSM 128系列提供室溫(Room Temperature)及高溫的應力量測解決方案;可於各自的工作溫度範圍內進行升降溫的應力量測,模擬實際製程升降溫、SMT回焊、退火的溫度曲線,確認產品製程的可靠度。
當薄膜沉積於不同熱膨脹係數CTE材料時,就會生成薄膜應力,此應力將影響薄膜附著於材料的狀況。在經過加熱/冷卻製程時,可能會因兩貼合材料之熱膨脹係數不同,導致接觸面產生缺陷。
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