薄型氮氣控制器(流量計)

 

產品型號：FN2HT-FM

產品分類：半導體封裝與組裝設備

廠商名稱：博士門股份有限公司

攤位號碼：N003

 

產品特色

 

專為半導體產業設計，搭配不鏽鋼氮氣櫃，符合國際半導體乾燥暨潔淨標準，如IEC-TR-62258-3規範。該規範明確指出，晶圓片（Wafer）和晶片（Bare die）的儲存環境必須維持至少99%的氮氣濃度，並確保濕度控制在30%RH以下、7%RH以上，以防止濕度過低或過高造成電子性破壞。

博士門薄型氮氣控制系統不僅精確調控濕度，還提供先進的靜電消除功能，有效避免粉塵產生與沾黏，確保儲存環境的潔淨度，配合高效過濾系統，進一步解決粉塵干擾問題，符合ISO14644 Class 6潔淨標準。

此外，系統配備節能裝置，當環境濕度達到設定標準時，會自動停止氮氣填充，有效降低氮氣消耗，節能達80%。

產品特性：
1.內建記憶體可儲存最多11,900筆溫濕度紀錄。
2.可設定1至240分鐘之間的資料收集間距。
3.支援設定年/月/日/時/分等詳細時間。
4.可透過RS232接口將數據下載至電腦，並支援Excel、PDF等格式查看。
5.同時顯示溫濕度曲線圖及數據表格。
提供溫濕度偏移校正及面板鎖定功能，操作更加靈活。
6.配備進氣離子噴嘴，有效消除靜電，避免粉塵附著，確保環境潔淨並保護儀器與物料。
7.可設定溫濕度的上限值和下限值，並在偏離範圍時啟動警報。
8.提供閃爍警示燈或蜂鳴器警示，確保異常情況即時反應。
9.傳感器可與顯示器分離，最長可達150公尺進行偵測。

 

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