全自動載具清洗機

產品型號：NFC-R510

☆純水沖洗
☆XCDA+高壓無塵熱風風刀去水
☆真空乾燥
☆機械手工作站搬運
☆純水加熱器 (選配)
☆FOUP 層距檢查 (選配)
☆FOUP 內部乾燥度(濕度)檢查 (選配)
☆SEMI S2/S8認證
☆UPH 6pcs/hr