NFC-R300 300mm FOUP清洗機

產品型號：NFC-R300

☆超純水沖洗 & IR+XCDA去水
☆真空乾燥
☆機械手工作站搬運
☆純水加熱器 (內建)
☆N2 Purge (選配)
☆XCDA加熱器 (選配)
☆FOUP檢測 (選配)
☆SEMI S2/S8認證
☆UPH 24pcs/hr