JL-D20 - 雙面拋光機/ 雙面研磨機
產品型號:JL-D20
產品分類:半導體智動化解決方案
廠商名稱:準力機械股份有限公司
攤位號碼:N308
產品特色
1. 機器特性
- - 雙面拋光/研磨機適用於工件需要雙面同時加工,且又特別適於易翹曲之材料加工,
- 機器可同時精密加工多片工件。
- 拋光/研磨後之工件具有優異的平面度、平行度與低翹曲特性。
- 機構採取行星式運轉設計,表面達到無機械紋路之效果(鏡面或霧面)。
- PLC控制器可搭配類人機介面(選配), 提供使用者簡單的操作方式。
- 準力提供客製化程式撰寫與維護。
2. 適合研蘑工件種類
- 非金屬:矽晶圓、礦化矽晶圓、石英玻璃、藍寶石、氮化鋁、砷化鎵、鑽石晶圓
- 金屬:氧化鋁、銅、不銹鋼、碳化鋼、十字鋼等
3. 選配
- 冷卻盤: 強化加工時工件平面度。
- 拋光墊: 針對客戶拋光需求搭配不同材質拋光墊。
- 研磨盤: 針對不同材質客製化研磨盤。 Ex: 等低熱膨脹係數不銹鋼、INVAR研磨盤。
- 簡易供漿系統: 粗細拋光/研磨液手動切換。
- 自動供漿系統: 粗細拋光/研磨液自動切換。
- 研磨拋光墊修整環: 研磨拋光墊修整使用。
- T型管: 研磨拋光墊去除使用。
- 拋光研磨載具: 根據材質與工件形狀大小客製化載具。
- 研磨拋光墊滾輪: 研磨拋光墊黏貼使用。
- 自動清洗盤面: 盤面自動清洗與保濕。
- 自動厚度偵測: 根據工件厚度與材質設計安裝厚度偵測儀。
- 自動工件取放: 客製化工件取片與放片。
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