雷射干涉儀(單光束/雙光束/三光束)
德國 Eitzenberger空氣軸承元件/超精密轉盤/加工主軸/單軸及多軸運動定位平台
微奈米級雷射震動量測分析儀
線上3D白光干涉儀/非接觸式光學輪廓粗度量測儀
