Wafer專用原子力顯微鏡AFM(6-12吋適用)---晶圓粗糙度量測最佳利器
白光干涉儀+共軛焦顯微鏡(入門款)---粗糙度,表面輪廓,形貌,膜厚高速檢測首選(世界大廠Sensofar)
簡易、輕巧AFM(原子力顯微鏡)---奈米量測入門工具(表面形貌、粗糙度檢測)
桌上型AFM(原子力顯微鏡)---研發、品管、表面形貌、粗糙度檢測專用
TIpsNano AFM探針/ 極細2nm探針/HOPG/SNOM/TERS專用
CSI AFM/全球最佳電性量測AFM (高解析PFM/KFM/EAFM/CAFM/SThM ) KPFM表面電位量測
全方位, 高性能AFM---Park Systems AFM (粗糙度, 膜厚,表面電位, 晶圓缺陷檢測)