ECS系列真空奈米壓電平台
產品型號:ECSxy5050
產品分類:半導體智動化解決方案
廠商名稱:阜拓科技股份有限公司
攤位號碼:N403
產品特色
● 超真空環境:可於5X10 -11 mbar
● 耐高溫:最高可至150度C
● 最高載重:2kg
● 最大行程:50mm
● 內建閉迴路補償,解析度:1nm
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產品型號:ECSxy5050
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