奈米位移雷射干涉儀
產品型號：IDS3010
產品分類：半導體智動化解決方案
廠商名稱：阜拓科技股份有限公司
攤位號碼：N403
產品特色
• 內建 1530nm DFB 分佈回饋式雷射，量測精準度可達亞奈米分辨率。
• 訊號感測探頭具備 10MHz 頻寬及1pm (picometer) 解析度，探頭可偵測目標物移動速度最高可達 2m/s。
• 最多可同時進行 3 軸量測，距離最長可至 5 公尺。
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