粉塵偵測系統

 

產品型號：CyberOptics Wafersense APS/ IPS

產品分類：電子生產製造設備

廠商名稱：長智科技股份有限公司

攤位號碼：N306

 

產品特色

 

半導體世界越來越精細，微小。因為無法視覺觀察到的外物跟異常，造成生產品質的問題，用來代替工程師眼睛的儀器越顯重要。在非視覺的世界中，靜電/粉塵或是化學污染需要更精密跟好用的感測系統來協助工程單位做判別問題根本，有檢測的機制之後，也需要一些系統化的解決方案，協助客戶做到更有效並且快速的解決問題

透過無塵室粉塵控管法規，ISO14644-1， ISO21501-4，粉塵或顆粒異物會造成生產的品質疑慮，無論生產製造過程中發生的產出物或是外來污染源皆是。長智提供空氣/真空與液體的不同偵測儀器或感測器，airborne particles sensor/ Liquid particle sensor/ inline particle sensor.

代表產品：CyberOptics Wafersense APS/ IPS

 

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