多槽式玻璃晶圓清洗機

特點
•可配合客戶製程，做多槽式設計
•單懸臂天車移載機構，可彈性調整清洗流程
•開窗停機機制，確保人員安全
•觸控式彩色人機介面，操作簡單
•各槽可獨立噴洗、QDR、超音波、風切系統
•槽體可以設計鐵氟龍槽/不鏽鋼槽
•可搭配真空烘乾系統