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塗佈及顯影機

產品型號：ATOM 6500C、ATOM 6500D、ATOM 6800C、ATOM 6800D

產品分類：化合物半導體材料/設備

廠商名稱：漢民科技股份有限公司

攤位號碼：M412

產品特色

提供客製化解決方案

漢民科技 ATOM 系列全自動塗佈/顯影機 (Coater/Developer) 適用於各尺寸晶圓及方形晶圓製程。設備主要由盒站、對準、傳送、勻膠、熱處理、化學品供應、排液系統及控制模組組成，藉由圖形化操作介面。在 LED、Micro-LED與半導體後段製程等具有高度市場占有率，經過多年研發及改良，ATOM 系列在2021年跨入寬能隙 (化合物) 半導體市場。

全機由漢民自行開發設計，配置自製機械手臂，具有速度快、容易維修的優勢，並提供高產能與均勻性，搭配自動化系統進行遠端生產管理及 SEMI S2/S10 認證，提供各產業客戶多元且客製化的解決方案。

獨特第三牙叉
傳送手臂配備有獨特的第三牙叉，專供傳送晶圓進入勻膠模組使用，可以避免牙叉積熱影響晶圓溫度，提升膜厚勻膠均勻性。此外，使用自行開發軟體，可以配合需求快速提供客製化功能。

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