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部件清洗潤溼機

產品型號：FPS

產品分類：半導體智動化解決方案

廠商名稱：漢民科技股份有限公司

攤位號碼：M412

產品特色

◆ 可獨立清洗及潤溼設備：獨立設備，避免佔用主機台晶圓生產時間。
◆ 預防部件交叉污染：專屬部件清洗潤濕迴路，避免複數部件在同一迴路清洗時發生交叉汙染。
◆ 節省化學藥劑浪費：化學藥劑回收系統設計，可重覆使用化學藥劑，避免一次使用性的浪費。
◆ 通過SEMI S2 / S10認證：火警漏液檢測設計，安全無慮。

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