EFEM
產品分類：半導體智動化解決方案
廠商名稱：奈米趨勢科技有限公司
攤位號碼：M520
產品特色
整合高精度平穩無塵型機械手臂與 FFU控管以降低晶圓污染與搬運受損風險。
系統支援8吋到12吋Load port模組,能精準適配多元產線需求並大幅提升整體稼動率與傳輸效率。
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