玻璃晶圓AOI瑕疵檢測系統

針對玻璃晶圓全方位掃描，克服玻璃晶圓高透光與反射產生的雜訊干擾，
系統提供高重複性的檢測結果及自動生成詳細的缺陷分布圖(Wafer Map)與統計分析報表，
協助製程人員即時掌握玻璃晶圓表面缺陷資訊,並為製程優化與問題溯源提供關鍵的數位實據。