PSI 3000 偏振應力成像系統 (PSI)

 

產品型號：PSI 3000

產品分類：半導體封裝與組裝設備

廠商名稱：台灣勝米磊有限公司

攤位號碼：N220

 

產品特色

 

Semilab 的 PSI 產品線專為 高產能、自動化晶圓廠 設計，系統用於偵測、量化並呈現由 機械應力 (Mechanical Stress) 所引起的晶體結構缺陷，適用於矽晶圓（Si wafers）、矽柱體（slugs）及玻璃基板等材料。

PSI 系統採用 偏振光學量測技術（Polarized Optical Stress Imaging），能以高靈敏度量測由應力造成的光學雙折射變化，並於全晶圓範圍內生成高解析度應力與缺陷分布圖。藉此可清楚辨識滑移線（slip lines）、位錯（dislocations）、晶界擾動、應力梯度等各類機械性晶體缺陷。

此平台支援 200 mm / 300 mm 晶圓製造環境，具備高速自動取放片、量測重現性佳，以及為製程監控所優化的進階影像分析演算法，使 PSI 成為晶圓製造、後段加工與元件整合過程中不可或缺的 機械完整性與晶體品質監控設備。

 

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