PSI 3000 偏振應力成像系統 (PSI)
產品型號:PSI 3000
產品分類:半導體封裝與組裝設備
廠商名稱:台灣勝米磊有限公司
攤位號碼:N220
產品特色
Semilab 的 PSI 產品線專為 高產能、自動化晶圓廠 設計,系統用於偵測、量化並呈現由 機械應力 (Mechanical Stress) 所引起的晶體結構缺陷,適用於矽晶圓(Si wafers)、矽柱體(slugs)及玻璃基板等材料。
PSI 系統採用 偏振光學量測技術(Polarized Optical Stress Imaging),能以高靈敏度量測由應力造成的光學雙折射變化,並於全晶圓範圍內生成高解析度應力與缺陷分布圖。藉此可清楚辨識滑移線(slip lines)、位錯(dislocations)、晶界擾動、應力梯度等各類機械性晶體缺陷。
此平台支援 200 mm / 300 mm 晶圓製造環境,具備高速自動取放片、量測重現性佳,以及為製程監控所優化的進階影像分析演算法,使 PSI 成為晶圓製造、後段加工與元件整合過程中不可或缺的 機械完整性與晶體品質監控設備。
相關產品
-
具面板平台3D表面與輪廓量測技術 (AFM)
-
晶圓或基板外周邊緣幾何形貌的精密量測系統 (E-Shape)
-
反射式紅外線鍵合界面缺陷成像儀 (IRI)
-
微光斑全光譜式橢偏儀 (uSE)
-
300mm 光致螢光光譜系統 (SPL)
-
300 mm 半絕緣晶圓非接觸式電阻率分佈量測系統 (COREMA)
-
具備 I‑V 量測功能的擴散電阻剖面分析系統 (SRP)
-
載子解析光生(Carrier-Resolved Photo) &平行偶極線(Paralleled Dipole Line)霍爾量測系統 (PDL)
-
螢光成像式microLED 功能檢測系統(LumiPix)
您可能有興趣的產品
人氣產品專區