螢光成像式microLED 功能檢測系統(LumiPix)
產品型號:LumiPix 3000
產品分類:Micro LED生產製造設備
廠商名稱:台灣勝米磊有限公司
攤位號碼:N220
產品特色
LumiPix‑3000--microLED 光激發螢光成像檢測系統
LumiPix‑3000 是一款以光激發螢光(PL)成像為核心的 microLED 功能檢測系統,可快速掃描整片晶圓,並以高解析度揭露影響元件效能的關鍵光學缺陷。
主要特色
高解析度 PL 成像:生成發光強度與波長分布圖,精準辨識亮度不均與光譜偏移。
自動缺陷分類:依據 LED 映射結果自動定位並分類異常元件。
支援多種材料:適用 GaN/InGaN、AlInGaP 等 microLED 製程。
非破壞量測:在不影響製程的前提下進行全晶圓分析。
應用範圍
microLED 晶圓強度與波長檢測
外延層(InGaN/GaN MQW)品質與均勻性評估
製程早期缺陷監控與良率改善
輔助光學檢查
白光顯微成像:晶圓表面快速觀察
外延結構檢查:協助確認成長均勻度與潛在結構異常
為 microLED 製造帶來穩定度與高良率
LumiPix‑3000 結合高靈敏度 PL 成像與自動缺陷分析,是 microLED 製造早期品質控管的理想量測平台。
立即聯絡我們,了解 LumiPix‑3000 如何提升您的 microLED 製造能力。
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