具備 I‑V 量測功能的擴散電阻剖面分析系統 (SRP)

 

產品型號：SRP 2100i

產品分類：化合物半導體材料/設備

廠商名稱：台灣勝米磊有限公司

攤位號碼：N220

 

產品特色

 

RP‑2100i 是一款高效能的擴散電阻剖面（SRP）量測系統，內建 I‑V 量測功能，可完整解析半導體材料的結構與深度電性分佈。

系統能對化合物半導體進行精準的結構分析與剖面監控，同時亦能量測各類矽基元件製程中之電阻率（Resistivity）與載子濃度分佈（Carrier Density Profile）。

SRP‑2100i 結合 SRP 與 I‑V 量測的雙重優勢，可提供從研發到量產所需的完整電性深度資訊，用於摻雜濃度分析、接面特性評估、擴散研究與製程最佳化，是現代半導體製造不可或缺的材料與元件電性鑑定工具。

 

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