300mm 光致螢光光譜系統 (SPL)

 

產品型號：SPL 3000

產品分類：化合物半導體材料/設備

廠商名稱：台灣勝米磊有限公司

攤位號碼：N220

 

產品特色

 

Semilab 的 SPL 系統將 光致螢光光譜（Spectral Photoluminescence）、光譜反射量測（Spectroscopic Reflectometry, SR） 以及翹曲/彎曲量測（Bow/Warp Measurement）整合於同一高穩定度平台中，可支援最大 300 mm 樣品尺寸。

該系統能有效解析多種材料（如 GaN HEMT、SiC 等）的光學與電子結構，提供全面性的非破壞量測能力，特別適用於化合物半導體製程開發與製程監控。

 

相關產品

 

• 

  具面板平台3D表面與輪廓量測技術 (AFM)

• 

  晶圓或基板外周邊緣幾何形貌的精密量測系統 (E-Shape)

• 

  PSI 3000 偏振應力成像系統 (PSI)

• 

  反射式紅外線鍵合界面缺陷成像儀 (IRI)

• 

  微光斑全光譜式橢偏儀 (uSE)

• 

  300 mm 半絕緣晶圓非接觸式電阻率分佈量測系統 (COREMA)

• 

  具備 I‑V 量測功能的擴散電阻剖面分析系統 (SRP)

• 

  載子解析光生(Carrier-Resolved Photo) &平行偶極線(Paralleled Dipole Line）霍爾量測系統 (PDL)

• 

  螢光成像式microLED 功能檢測系統(LumiPix)

 

 

 

回列表