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半導體材料中應力與晶體品質控制的拉曼光譜量測技術

產品型號：Raman-3000

產品分類：化合物半導體材料/設備

廠商名稱：台灣勝米磊有限公司

攤位號碼：N220

產品特色

適用於應力量測、應變工程與品質保證的線上量測方案
拉曼光譜量測平台提供一套快速、非侵入、非破壞性的分析技術，專為先進邏輯元件製程而設計。
系統可精準評估超薄 SiGe 薄膜、GeOI 基板及應變工程 Si/SiGe 結構中的應力、應變與晶體品質，並支援多種拉曼光譜分析配置，以滿足不同製程需求。

主要特點

完全非侵入、非破壞性的量測方法
為高產能製造與晶圓廠自動化而設計
穩定的平台可支援最大 300 mm 晶圓
同時支援裸晶圓與量產晶圓量測
適用材料：Si、SiGe、sSOI、GeOI、GaN...
具備光譜儀與雷射功率的自動校準功能
可依需求配置不同光譜儀與雷射選項，以符合客戶應用情境

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