300 mm 半絕緣晶圓非接觸式電阻率分佈量測系統 (COREMA)

 

產品型號：COREMA-2000/3

產品分類：化合物半導體材料/設備

廠商名稱：台灣勝米磊有限公司

攤位號碼：N220

 

產品特色

 

Semilab COREMA 以交變電場耦合樣品表面，量測電容響應與相關參數，並透過已建立的材料模型將信號轉換為體電阻率與空間分佈。由於不需接觸電極，特別適合高阻、脆弱或不便製備的晶圓與基板。
- 半絕緣 GaAs / InP / SiC：外延前來料檢驗、外延後殘留缺陷/摻雜背景評估。
- 砷化物/磷化物族：晶圓內/批次間電阻率均勻性與趨勢監控。
- 高頻/光電器件基板：如功放、光偵測、微波與毫米波應用的材料篩選。
- 製程開發與異常追蹤：爐管、退火、清洗與長晶條件對電阻率的影響評估。

 

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