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超音波非接觸傳輸

產品分類：

廠商名稱：耐琪特國際有限公司

攤位號碼：M320

產品特色

採用頻率超過人聽覺上限（> 20 KHz）的超音波氣體軸承技術，通過對載台的震動，可在載台表面形成局部高壓氣膜，此基板即可被此高壓氣膜推升而造成無接觸的結果，該技術可在所有氣體環境中使用並可獨立使用於各式電子製程。

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