自動電漿清洗機 Nano PCCE

 

產品型號：Nano PCCE

產品分類：半導體封裝與組裝設備

廠商名稱：昭地科技有限公司

攤位號碼：N406

 

產品特色

 

1.桌上型PCCE控制型 3.5''觸摸屏。
2.自動/手動控制模式自由切換。
3.自動控制模式下可存儲多達50套以上工藝程序，即時顯示工藝過程，
通過圖表和數位即時顯示氣體流量、壓力、等離子清洗時間，功率等工藝參數。
4.手動控制模式可通過直接敲擊相應控制單元的圖表進行設置。
5.資料自動保存，可通過USB介面匯出資料。
6.安全功能：溫度、壓力、門鎖互鎖功能。
7.根據工藝要求設定抽氣時間偏差、氣體流量偏差、腔體壓力偏差 、功率輸出偏差報警值。
8. 奈米等離子體系統主要應用於：半導體技術、研發部門、微系統工程、感測技術、醫學工程、
分析、考古、汽車、小批量製造、 塑膠技術、消毒、紡織技術等領域。

廠牌：Diener/德國

 

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