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快速退火爐 (RTP)

產品型號：NBD-HR1200

產品分類：半導體封裝與組裝設備

廠商名稱：昭地科技有限公司

攤位號碼：N406

產品特色

快速退火爐簡稱 RTP（Rapid Thermal Processing Furnace），
不但擁有非常快的升溫速率，而且在燒結工藝運行完結後，直接將試樣移動至室溫下，實現物理狀態下的快速降溫。設備採用了內管進氣、外管出氣的氣路結構，使得反應氣氛與加工樣品充分而均勻地接觸。退火爐是CVD法生長大尺寸二維石墨烯的常用設備。測溫元件直接和試樣接觸，保證試樣溫度的準確性。
1、雙層鋼結構；
2、高純度Al2O3纖維耐火保溫材料，最大節約能源；
3、耐火陶瓷上的高純度氧化鋁塗層可延長使用壽命；
4、氧化鋁管塞可幫助您在管內建立自訂的溫度梯度。
◎廠牌:NOBODY
◎CE認證

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