300mm 光致螢光光譜系統 (SPL)
300 mm 半絕緣晶圓非接觸式電阻率分佈量測系統 (COREMA)
具備 I‑V 量測功能的擴散電阻剖面分析系統 (SRP)
載子解析光生(Carrier-Resolved Photo) &平行偶極線(Paralleled Dipole Line)霍爾量測系統 (PDL)