多元材質用晶圓巡邊器

 

產品型號：SAL38C4HV

產品分類：PLP面板級封裝設備/材料

廠商名稱：傑億爾股份有限公司

攤位號碼：M120

 

產品特色

 

適用於8-12吋晶圓，可適用於多種晶圓的新型晶圓巡邊器。

1. 可適用於矽晶圓、BG膠帶（乳白色）的矽晶圓，透明、半透明晶圓等不同材質晶圓的位置校準
2. 使用自主研發的影像辨識感測器，採用了控制器和馬達驅動器整合到設備本體內部的一體化設計
3. 可以根據晶圓尺寸、材質更改Spindle的直徑、形狀和材質，可以使用伯努利吸附方式
4. 控制方式：RS232C或並列I/O通訊
5. 不符合SEMI規格的缺口、缺邊形狀也可以提供客製化設計
6. 能夠為Spindle增加Z軸，以滿足對晶圓進行升降的需求
7. 晶圓重新拿起的動作對Z軸進行選擇設定

 

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