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扇出型面板級封裝 TGV PVD 510*515

產品型號：P-600-T

產品分類：PLP面板級封裝設備/材料

廠商名稱：AREESYS

攤位號碼：M301

產品特色

◆ 高沉積速率濺鍍系統，適用於大型 TGV基板
◆ 高深寬比 15:1
◆ 採用大型平面式 PVD 靶材設計，靶材利用率 >= 50%
◆ 高離化率靶材濺鍍技術，具備優異的階差覆蓋能力
◆ 專利電磁場設計，實現低薄膜電阻率與優異附著力
◆ 專利冷卻系統設計，製程溫度低於 120°C
◆ 具真空翻面機構的雙面濺鍍功能
◆ 可依產能需求客製化系統配置

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