4軸圓筒座標無塵室用機械手臂
產品型號:STCR4160SN
產品分類:PLP面板級封裝設備/材料
廠商名稱:傑億爾股份有限公司
攤位號碼:M120
產品特色
適用於無塵室的4軸圓筒座標機械手臂。
在維持高性價比和高速傳輸特性的基礎上,解決了步進馬達常見的失步問題,適用於2吋-12吋晶圓傳輸的新型雙臂機械手臂。
1. 採用即使在負載發生突變或加減速過大的情況也能夠避免馬達失步現象的閉環控制方式,有效地提高了機械手臂的可靠性
2. 馬達配備絕對值編碼器,機械手臂能夠在任何情況下知道自己的當前位置,縮短了機械手臂各動作軸尋找自身位置原點的時間
3. 絕對值編碼器為機械式,不需更換電池
4. 可以和舊型號的本司產品相容(安裝尺寸,性能互換),方便客戶對現有設備的升級改造
5. 高強度手臂・手臂第3關節處可承受3kg力(包含牙叉固定塊、牙叉、晶圓的質量)
6. 機械手臂標準臂長:100mm、130mm、160mm、200mm
7. 可依裝置佈局選擇基座固定方式或法蘭固定方式
8. 可選伯努利方式牙叉(Option)
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