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單晶圓濕式製程設備

產品型號：Polar 2004/Polar 3004

產品分類：半導體封裝與組裝設備

廠商名稱：辛耘企業股份有限公司

攤位號碼：N705

產品特色

採用單晶圓(枚葉式)處理，可達高速產出要求並達到良好的製程品質管理。
適用在晶圓形變量較大與高潔淨度要求環境下的洗淨/蝕刻/除膜…等應用，
製程涵蓋範圍廣，可處理自6"~12"晶圓產品
支持同製程腔內，可達成連續使用三種藥劑、不需製程中斷換腔。
提供藥劑回收功能，回收效率可達九成以上。
製程區可依客戶要求，選用至多12腔。
自主設備設計彈性大、接受高度客製化
設計符合SEMI基準架構

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